本文研制了一种高性能、低成本的微型电容气象压力传感器,整个流程工艺简单标准,薄膜材料选择单晶硅,采用接触式结构,利用阳极键合形成真空腔,最后由KOH各向异性腐蚀和深刻蚀形成硅薄膜。试验结果表明,该传感器适用于气象压力测量。
DS28EA00是达拉斯半导体公司推出的传感器产品,它是一种精度为±0.5℃的单线数字温度传感器,具有链式信令与协议功能,能够在多个传感器连接到单条公共线的环境中自动判断各个传感器的物理位置。达拉斯半导体公
长野计器于日前推出了新款压力传感器,该传感器通过使用非晶质金属玻璃使灵敏度比原来提高4倍。金属玻璃通过射出成形作为振动板使用(压力检测元件),通过在振动板上蒸镀应变片作为压力传感模块来工作。 由于灵敏
一种新型的矿井岩石压力传感器日前在南非试验成功,这是世界上首例针对矿山安全而设计的传感装置,新的传感器将大大提高采矿的安全系数。 岩石崩塌是造成矿井事故的主要原因之一,随着矿山开采工作的进行,矿井的深
西安交通大学维纳仪器有限责任公司承担的“863”MEMS领域重大专项课题———“面向石化等重要行业MEMS压力传感器制造与实用化研究”于1月底顺利通过国家科技部专家组验收。 据了解,MEMS即微电子机械系统,集微型传感
台湾成功开发出了尺寸为50μm×50μm的小型压力传感器芯片,并在日前召开的“MEMS 2006”会议上进行了发布。通过对压力传感器部分的薄膜形成手法进行改进,实现了小型化。同时还使用明胶对传感器部分进行了封装。这种
爱普生东洋通信公司日前开发出一种使用水晶振荡器高精度测量压力的传感器产品“TSU”系列。配备水晶振荡器的频率随压力不同而变化,该产品就是利用这一原理测定压力。新产品共包括4个型号,最大测量压力从100k~1MPa
VTI公司推出了革命性的新型SCP1000系列压力传感器,准确性高、能耗低,可用在高度计当中。这种产品的测量范围涵盖了100 kPa 的大气压(SCP1000-D01)到 1600 kPa (SCP1000-D02)的深水压。作为3D-MEMS传感器开发的领先厂
介绍TPMS技术发展现状、趋势、市场。