近日,网传清华大学的国产 EUV 方案通过用“空间”换“时间”的方式,通过将光刻机放大为光刻厂的方案来规避技术难点,实现“换道超车”。对此,昨天下午中国电子工程设计院官方表示,该项目并非网传的国产光刻机工厂,而是北京高能同步辐射光源项目(HEPS)。
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