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[导读]据台媒报道,英特尔宣布向荷兰光刻机制造商ASML预订了一台仍在设计中的顶级EUV光刻机,为业界首家。这台光刻机型号为High-NA量产型EUV光刻机EXE:5200,是业界最强的光刻机,此刻尚未面世。

据台媒报道,英特尔宣布向荷兰光刻机制造商ASML预订了一台仍在设计中的顶级EUV光刻机,为业界首家。这台光刻机型号为High-NA量产型EUV光刻机EXE:5200,是业界最强的光刻机,此刻尚未面世。

据悉,台积电此前已经向ASML采购High-NA研发型EUV光刻机EXE: 5000,预计在今年内会跟进下单High-NA量产型EUV光刻机。

此前,英特尔确定自己是ASML的High-NA研发型EUV光刻机EXE: 5000的第一个买家。

据ASML透露,High-NA研发型EUV光刻机EXE: 5000将在2024年前出货,在手订单已达5台。量产型EUV光刻机EXE: 5200将在2024年推出,支持客户的后续量产计划。这款光刻机瞄准了2025年后晶圆制造的最新工艺节点,例如2nm工艺。

英特尔期望能在晶圆制造领域超过龙头台积电。与此同时,英特尔还大量采用台积电的晶圆代工服务,预期未来几年会成为台积电的大客户之一。

为了从台积电手中夺回“全球最先进芯片制造商”的宝座,英特尔抢先下手了,尽管阿斯麦(ASML)最新型号的光刻机还未投产,但英特尔已经打钱预定了。建厂扩产、被传收购格芯,现在又开始抢购光刻机,最近,英特尔为了在芯片大战中翻身,动作频频。这并不意外,英特尔CEO已经表过态了,“我们不要浪费这场危机”。

报价逾3.4亿美元,光刻机巨头阿斯麦的下一代设备价格再创新高,较前一代价格增逾13%。

即便是天价,也不影响芯片厂商的踊跃。当地时间1月19日,阿斯麦官网显示,英特尔已经率先订购了一台,为业内首家。

作为制造芯片的核心装备,光刻机的先进程度等直接决定了芯片的制程工艺。自2017年阿斯麦第一台量产的EUV光刻机正式推出以来,三星的7nm/5nm工艺,台积电的第二代7nm工艺和5nm工艺的量产都是依赖于0.55数值孔径的EUV光刻机来进行生产。

而伴随着芯片厂商向3nm制程工艺冲刺,对光刻机的要求也越来越高,需要依赖于阿斯麦新一代的高数值孔径(High-NA)EUV光刻机EXE:5000系列。

此次英特尔订购的这台光刻机,型号为High-NA量产型EUV光刻机EXE:5200,将采用不同的镜头系统,NA更大,将会是业界最强的光刻机。阿斯麦发言人表示,更高的光刻分辨率将允许芯片缩小1.7倍,同时密度增加2.9倍。未来比3nm更先进的工艺,将极度依赖高NA EUV光刻机。

阿斯麦方面称,“High NA”EUV,每台的成本约为3亿美元。第一批原型将于2023年发货,预计要到2025年才能用于批量生产。

其实,首个订单花落英特尔并不意外。去年7月,在“英特尔加速创新:制程工艺和封装技术线上发布会”上,英特尔已宣布将在2024年量产20A工艺(相当于台积电2nm工艺),并透露其将率先获得业界第一台High-NA EUV光刻机。

不过,台积电和三星也不甘示弱。此前,台积电已经向阿斯麦采购了High-NA研发型EUV光刻机EXE: 5000,业内预计在今年内会跟进下单High-NA量产型EUV光刻机。

翻身之战

显而易见,英特尔此次急于出手是为了争夺最强芯片制造商地位。此前在7nm领域的争夺,英特尔就不及台积电和三星,略逊一筹。

英特尔10nm曾被认为是台积电7nm的同一代,英特尔7nm被认为是台积电5nm的同一代。早在2018年4月,当英特尔10nm制程芯片难产时,台积电已经宣布成功量产EUV工艺的7nm制程芯片。6个月后,三星也宣布量产7nm EUV工艺。

到了2019年,台积电开始试产5nm制程芯片,同年,英特尔量产10nm。至于英特尔的7nm,在最新的规划里,预计投产时间是2022二季度。而台积电的3nm芯片将在今年下半年量产。

制程持续落后,英特尔在上游设备和下游市场上也不占优势。

去年5月,三家芯片大厂曾展开一次激烈角逐。在半导体工艺进入7nm节点之后,EUV光刻机成了关键装备,而台积电明显在此前抢占了先机。据统计,阿斯麦近年来一共量产了100台左右的EUV光刻机,其中供应给台积电的就有70台,占了绝大多数份额。

台积电同时还是市场的绝对占据者。去年三季度,台积电凭借148.84亿美元的营收,拿下了全球芯片代工市场53.1%的市场份额。

同样,台积电还手握多家大客户。据《经济日报》报道,台积电2022年的产能十分抢手,AMD、苹果、英伟达、高通等数十家客户纷纷预先支付资金,以确保后续的生产能够顺利进行。预计台积电今年将取得1500亿新台币的预付款(约合346亿元人民币)。

而放眼整个半导体市场,英特尔的地位也不如三星。1月19日,数据研究机构Gartner发布的数据显示,2021年半导体市场整体销售额增长25.1%至5835 亿美元,首次突破5000亿美元,其中,三星电子超越英特尔成为收入最高的芯片制造商。

在全球缺芯的大背景下,英特尔也尝到了“落后”的苦头。近两年,英特尔发力不断。

去年1月,英特尔换帅,帕特·基辛格被任命为新的CEO,他曾经是英特尔第一任首席技术官,为英特尔工作了30年。彼时,英特尔董事长Omar Ishrak表示:“现在是英特尔转型的关键时期,正是充分发挥帕特在技术和工程方面专长,进行公司领导变动的合适时机。”

显而易见,英特尔此次急于出手是为了争夺最强芯片制造商地位。此前在7nm领域的争夺,英特尔就不及台积电和三星,略逊一筹。

英特尔10nm曾被认为是台积电7nm的同一代,英特尔7nm被认为是台积电5nm的同一代。早在2018年4月,当英特尔10nm制程芯片难产时,台积电已经宣布成功量产EUV工艺的7nm制程芯片。6个月后,三星也宣布量产7nm EUV工艺。

到了2019年,台积电开始试产5nm制程芯片,同年,英特尔量产10nm。至于英特尔的7nm,在最新的规划里,预计投产时间是2022二季度。而台积电的3nm芯片将在今年下半年量产。

制程持续落后,英特尔在上游设备和下游市场上也不占优势。

去年5月,三家芯片大厂曾展开一次激烈角逐。在半导体工艺进入7nm节点之后,EUV光刻机成了关键装备,而台积电明显在此前抢占了先机。据统计,阿斯麦近年来一共量产了100台左右的EUV光刻机,其中供应给台积电的就有70台,占了绝大多数份额。

台积电同时还是市场的绝对占据者。去年三季度,台积电凭借148.84亿美元的营收,拿下了全球芯片代工市场53.1%的市场份额。

同样,台积电还手握多家大客户。据《经济日报》报道,台积电2022年的产能十分抢手,AMD、苹果、英伟达、高通等数十家客户纷纷预先支付资金,以确保后续的生产能够顺利进行。预计台积电今年将取得1500亿新台币的预付款(约合346亿元人民币)。

而放眼整个半导体市场,英特尔的地位也不如三星。1月19日,数据研究机构Gartner发布的数据显示,2021年半导体市场整体销售额增长25.1%至5835 亿美元,首次突破5000亿美元,其中,三星电子超越英特尔成为收入最高的芯片制造商。

建厂蓄力产能

在全球缺芯的大背景下,英特尔也尝到了“落后”的苦头。近两年,英特尔发力不断。

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