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[导读]为增进大家对压力传感器的认识,本文将对压力传感器防腐技巧以及制作压力传感器的流程予以介绍。

压力传感器可以说是最常用的传感器类型之一,对于压力传感器,我们也相对更为熟悉。上篇文章中,小编对压力传感器的干扰源有所阐述。为增进大家对压力传感器的认识,本文将对压力传感器防腐技巧以及制作压力传感器的流程予以介绍。如果你对压力传感器具有兴趣,不妨继续往下阅读哦。

一、压力传感器防腐技巧

压力传感器被应用于各行各业,尤其是工业上应用非常多的压力传感器,但是工业上一般要求压力传感器能够防腐蚀,压力传感器接头和腔体采用进口不锈钢整体加工,作为压力变送器弹体的不锈钢材料耐蚀性高、衰减性能好,可以监测任何与316L相兼容的介质。下面我们还来介绍一下压力传感器的防腐技巧。

首先,了解被测介质是否与316L相兼容:316,317L合金在100小时5%盐雾测试中,都没有出现腐蚀。其次,在选购传感器产品时,向供应商咨询介质对压力传感器是否有影响;通过对弹体耐腐蚀材料的选择,以便达到用户使用的需求。最后,我们可以采用隔离办法:压力变送器前有钼2钛和钽片,膜片与弹道管之间用甲基硅油传送压力,最小量程可做到0~100kPa,如果膜片材料还不耐腐,则可加一层F46膜片,但仪表灵敏度有所降低。也可直接用F46作隔离膜片,传递液可选用氟油,则可起双重隔离作用。

压力传感器在使用过程中一旦发现其不能与介质兼容就必须马上更换传感器,对应一些特殊的介质我们可以采用特殊的材质或者特殊的结构来进行测量,压力传感器未来肯定会得到更加广泛的应用,所以作为厂家我们要积极开发新型压力传感器来适应需要。

二、如何制作压力传感器

压力传感器怎么制作?压力传感器在加工细节上应该注意些什么?压力传感器的制作步骤详细介绍我们一起来了解一下。

典型溅射薄膜式压力传感器的主要工艺流程包括弹性体制造、研磨抛光、镀膜、离子束刻蚀等四道工序。

弹性体设计与制造:指弹性体钢杯的结构设计与机械加工,去应力热处理。此环节将确定弹性体膜片基本参数,基本决定了溅射薄膜式压力传感器的输入一输出关系。弹性体建模与计算过程非常重要,将在下一节重点阐述。

研磨与抛光:对合格的弹性体钢杯进行研磨、抛光,使表面达到光洁度要求,然后再作进一步的减薄处理。

镀膜:与刻蚀交替进行。采用离子束溅射淀积技术,在金属弹性体表面制造粘附力强、膜层均匀、致密、性能稳定的多层薄膜。

刻蚀:采用半导体光刻和腐蚀的方法,或者研究采用离子束刻蚀工艺将电阻膜刻蚀成惠斯登电桥的电阻条图形;将引线膜刻蚀成引线电极。

电桥微调:采用薄膜电阻对惠斯登电桥的桥臂电阻进行补偿,将传感器的输出调整到设计范围内(即理想零点)。

焊接:采用激光焊接或电子束焊接工艺,将合格芯片和支架、壳体等焊接到带有压力测试口的基座上。将压力敏感元件与压力接头焊装在一起是一道关键的工序。采用大功率激光焊机焊接或电子束焊机焊接,焊缝深度可达2.2mm。大量的焊接工艺试验表明,选用不同的焊接工艺参数,可以有效地消除焊接应力给传感器造成的不良影响。弹性体与基座、支架、外壳焊接成一体。

引线内封装:采用金丝球焊或者压焊工艺,焊接芯片引线从薄膜应变电阻的电极连接到支架。

稳定性处理:对传感器进行各项环境试验,并反复测量其输出,考核其稳定性。

数字修正:在稳定性处理后,根据事前设计的各项参数对传感器进行温度灵敏度、非线性等零点补偿工作。

整体封装:将补偿好的传感器敏感芯片进行喷涂等表面处理,目的在于防止传感器敏感芯片的膜层和电路受环境影响。

老化、试验:对封装好的传感器进行高低温、电应力老化试验和振动、冲击、疲劳、湿热、热真空等各种可靠性环境试验。

以上便是此次小编带来的“压力传感器”相关内容,通过本文,希望大家对压力传感器防腐技巧以及制作压力传感器的流程具备一定的了解。如果你喜欢本文,不妨持续关注我们网站哦,小编将于后期带来更多精彩内容。最后,十分感谢大家的阅读,have a nice day!

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